LED (n)PSS Cluster是一种专门为图形化蓝宝石衬底（PSS/nPSS）量产开发的纳米压印光刻生产线，可实现2、4、6英寸(n)PSS结构纳米压印工艺全自动生产。
该设备采用模块化设计，集成工作模具复制单元和纳米压印光刻生产单元。工作模具复制单元支持从晶圆级母模具表面自动复制柔性工作模具，工作模具具有精度高，寿命长等特点，可以显著降低大面积纳米压印量产中模具使用成本。纳米压印光刻生产单元支持工作模具自动更换，全自动上下片、压印、曝光、脱模，整个生产过程在密闭洁净环境中进行，以保证压印结果质量。
LED (n)PSS Cluster纳米压印光刻生产线专门为图形化蓝宝石衬底大规模量产细节优化，具有设计紧凑，占地面积小，全自动生产流程，稳定一致性好，多工位平行生产，产能高等特点。
全自动量产型LED图形化蓝宝石衬底（PSS/nPSS）纳米压印光刻生产线；
专门为(n)PSS大规模量产优化纳米压印工艺；
全自动复制柔性工作模具，自动更换，自动传送，降低大面积纳米压印模具使用成本；
模具复制内置精密自动点胶与旋涂功能；
工作模具可根据设定使用频率自动更换；
洁净机械手全自动上下片，双手指一取一放，提高效率；
8个cassette采用分区设计，安全互锁，可在生产状态下更换cassette，提高产能；
标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>1000mW/cm2 ，可选1000mW/cm2 光源），寿命优于3万*小时，水冷冷却，曝光时间控制精度优于0.1秒；
晶圆自动预对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模，整个生产过程在密闭洁净环境中进行；
占地面积小，产能高，4英寸可达240片每小时，6英寸可达200片每小时*；
随机提供全套纳米压印工艺与通线驻场服务，帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平。
兼容基底尺寸 |
2inch、100mm、150mm特殊尺寸可定制 |
兼容母模具尺寸 |
100mm、150mm、200mm特殊尺寸可定制 |
上下片方式 |
Cassette to cassette全自动上下片 |
晶圆预对位 |
光学巡边预对位 |
纳米压印工艺 |
专门为LED (n)PSS大规模量产细节优化 |
紫外固化光源 |
紫外LED（365nm）面光源，光强>1000mW/cm2，水冷冷却（2000mW/cm2类型光源可选配） |
设备内部环境控制 |
标配，外部环境class 100，内部环境优于Class 10* |
自动压印 |
支持 |
自动脱模 |
支持 |
自动工作模具复制 |
支持 |
自动工作模具更换 |
支持 |
产能(WPH) |
4英寸可达240片每小时* 6英寸可达200片每小时* |