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研发型Desktop纳米压印光刻设备 下一条 上一条 < 返回

UniPrinter
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UniPrinter是一种专门为大学、科研院所和企业产品研发所设计,操作简单、功能强大的台面型纳米压印光刻设备。

可实现4英寸以下晶圆面积上高精度(优于10nm *)、高深宽比(优于10:1 *)纳米结构压印,适合用作紫外纳米压印光刻工艺开发,器件原型快速验证,纳米压印材料测试等研发。它沿用澳门新莆京app9817量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,在该设备上开发的工艺可以无障碍转移到澳门新莆京app9817量产设备上进行生产。 UniPrinter纳米压印设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED等应用领域的研发。


主要功能

  • 沿用澳门新莆京app9817量产型纳米压印设备的工艺与材料体系,开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产;

  • 直径100mm以下晶圆高精度、高深宽比结构纳米压印光刻;

  • 设备内自动复制柔性复合工作模具;

  • 自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程无需人工干预;

  • 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>300mW/cm2),完美支持各种纳米压印材料;

  • 随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际领先的纳米压印水平。


设备照片

UniPrinter小.jpg

相关参数

兼容基底尺寸

直径≤100mm晶圆(特殊尺寸基底可定制)

支持基底材料 硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
纳米压印技术

紫外纳米压印(UV-NIL),适合高精度、高深宽比纳米结构压印

压印精度 优于10nm*
结构深宽比 优于10:1*
残余层控制 可小于10nm*
紫外固化光源 紫外LED(365nm)面光源,光强>300mW/cm2
自动压印 支持
自动脱模 支持
自动工作模具复制 支持
上下片方式 手动上下片


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